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一种金属双极板高导电耐蚀防护涂层及其制备方法与应用[发明专利]

2022-06-10 来源:乌哈旅游
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种金属双极板高导电耐蚀防护涂层及其制备方法

与应用

专利类型:发明专利

发明人:李昊,汪爱英,张栋,柯培玲,刘林林申请号:CN201911080939.2申请日:20191107公开号:CN110684946A公开日:20200114

摘要:本发明公开了一种金属双极板高导电耐蚀防护涂层及其制备方法与应用。所述金属双极板高导电耐蚀防护涂层的制备方法包括:以铬靶为靶材,采用高功率脉冲磁控溅射技术在所述金属双极板表面沉积铬过渡层;以及,以石墨靶为靶材,采用直流磁控溅射技术在所述铬过渡层表面沉积非晶碳层,获得金属双极板高导电耐蚀防护涂层;其中,所述直流磁控溅射技术采用的工艺条件包括:溅射源中心磁场强度为40~60mT,边缘磁场强度为10~20mT,电源功率为0.8~1.0kW。本发明提供的铬过渡层表面光滑内部结构致密,可以有效提高膜基结合强度;同时通过优化非晶碳层的制备工艺,使得非晶碳层兼具良好的导电性以及优异的耐蚀性,能够实现对金属双极板的长效防护。

申请人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所

地址:315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号

国籍:CN

代理机构:南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人:王锋

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