建设项目竣工环境保护验收
监测方案
x环站测字[xxxx]xx号
项目名称：XX能源公司增资建设三期年产300MW多晶硅太阳能
电池项目
委托单位：XX能源有限公司
XX省环境监测中心站 XX年XX月XX日
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承担单位：
协作单位：站 长： 总工、技术负责人： 项目负责人： 方案编写人：
审 核： 审 查： 审 签：
本机构通讯资料：
电 话： 传 真： 邮 编： 地 址： 网址：
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目 录
一、验收监测依据 ....................................................... 1 二、建设项目概况 ....................................................... 1
2.1基本情况 ........................................................ 1 2.2生产工艺流程及排污节点 .......................................... 1
2.2.1硅料处理车间工艺流程及产污环节分析 ......................... 2 2.2.2多晶硅硅片生产线工艺流程及产污环节分析 ..................... 3 2.2.3太阳能电池片生产线工艺流程及产污环节分析 ................... 6 2.4太阳能电池组件生产线工艺流程及产污环节分析 ..................... 10 三、环境影响报告书主要结论建议及环评批复内容 ......................... 11 3.1 环境影响报告书主要结论及建议 ................................... 11 3.2 环评报告表批复主要内容 ........................................ 11 四、验收监测方案的主要内容 ........................................... 19 五、测试费用 ......................................................... 23
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一、验收监测依据
（1）国务院第253号令《建设项目环境保护管理条例》；
（2）原国家环境保护总局第13号令《建设项目竣工环境保护验收管理办法》； （3）原国家环境保护总局环监［2000］38号《建设项目环境保护设施竣工验收监测办法（试行）》；
（4）原XX省环保局xx环表[xxx]xx号《XX省建设项目环境保护设施竣工验收办法》；
（5）XX省环保厅xx环评【xxx】xx号《XX能源（中国）有限公司增资建设三期年产300MW多晶硅太阳能电池项目环境影响报告书的批复》；
（6）XX环境科技有限公司《XX能源（中国）有限公司增资建设三期年产300MW多晶硅太阳能电池项目》；
（7）XX能源（中国）有限公司验收申请单。
二、建设项目概况
2.1基本情况
（1）项目名称：XX能源（中国）有限公司增资建设三期年产300MW多晶硅太阳能电池项目；
（2）建设单位：XX能源（中国）有限公司；
（3）建设地点：XX国家高新技术产业开发区XX能源（中国）有限公司院内，与XX中国二期工程年产300MW单晶硅太阳能电池项目共用厂房；
（4）建设性质：扩建；
（5）建设规模及产品方案：三期项目为新增300MW/a多晶硅太阳能电池的产能，建设三条生产线：多晶硅硅片生产线、太阳能电池片生产线、太阳能电池组件生产线；
（6）、工程投资：项目总投资166011万元，其中环保投资9195万元，占总投资的5.54%；
（7）劳动定员与工作制度：项目总定员2600人，年生产300天，每天生产24小时，年运行7200小时。
2.2生产工艺流程及排污节点
三期项目多晶硅太阳能电池生产线生产规模为300MW/a，生产过程主要包括：多晶硅硅片生产、太阳能电池片生产、太阳能电池组件生产，同时在动力车间内设硅料处理装置，用于将生产过程产生的废硅料和碎电池片处理后回收利用。
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2.2.1硅料处理车间工艺流程及产污环节分析
硅料处理车间设废硅料处理回收工序和碎电池片处理回收工序。 （1）废硅料处理回收工序
主要是将多晶硅硅片生产过程中产生的边角废料S10、头尾废料S14、废硅片S15进行喷砂、腐蚀处理后回收利用。
多晶硅硅片生产线产生边角废料、头尾废料、废硅片经收集后送入硅料处理车间的废硅料处理回收工序，首先需要测试废硅料的电阻率（根据电阻率不同，硅料所需的喷砂打磨时间有所差别），然后进行喷砂处理，即将一定量的硅料加入到喷砂机内，用46#碳化硅颗粒在压缩空气带动下打磨硅料表面，该过程产生一定量含碳化硅粉尘的废气G1，废气经布袋除尘器处理后，产生一定量的废碳化硅粉灰S1。然后对硅料进行腐蚀处理，即将打磨好的硅料在硅料腐蚀清洗机内进行腐蚀和清洗，具体的腐蚀清洗过程为纯水喷淋清洗1次约1min（1#）——20%氢氧化钠溶液浸没碱腐蚀约10min（2#）——纯水快排喷淋清洗1次约1min（3#）——10%盐酸浸没酸腐蚀约10min（4#）——纯水快排喷淋清洗1次约1min（5#）——隧道式烘干机电热烘干（6#）。3#槽和5#槽的纯水快排喷淋清洗具体过程为将硅料放入清洗槽后，纯水自槽底部的出水口快速涌出，直至将硅料完全浸没，而后打开槽底的排水口，同时位于槽顶部的喷嘴开始喷淋清洗，整个清洗过程共计约1min。硅料腐蚀清洗机共有5个腐蚀/清洗槽， 1#、3#、5#槽均为纯水喷淋清洗，喷淋后分别产生喷砂后清洗废水W1、碱腐蚀后清洗废水W2、酸腐蚀后清洗废水W3由各槽排出。2#碱腐蚀槽和4#酸腐蚀槽每4小时补充一次洗液，每24小时更换一次洗液，会产生一定量的废液，分别为废碱液S2、废酸液S3；同时在4#槽盐酸浸没酸腐蚀过程中，会因酸性物质挥发而产生酸性废气G2。在整个腐蚀/清洗过程中碱腐蚀、酸腐蚀及纯水清洗过程表面均用氮气封面，以避免硅料被氧化。经喷砂、腐蚀处理后的废硅料，可作为多晶硅原料返回多晶硅硅片生产线直接装入准备好的坩埚内。
（2）碎电池片处理回收工序
主要是将太阳能电池片生产线和太阳能电池组件生产线产生的碎电池片进行酸洗、腐蚀处理后回收利用。
太阳能电池片生产线测试分选过程中产生的碎电池片S25、太阳能电池组件生产线测试分档过程中产生的不合格电池产品S27经分离出的碎电池片，收集后送入硅料处理车间的碎电池片处理回收工序进行酸洗腐蚀、清洗等处理，具体过程为20%氢氟酸+30%硝酸混酸浸没腐蚀约10min（1#）——纯水快排喷淋清洗1次约1min（2#）
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——3%氢氧化钠溶液浸没碱腐蚀约10min（3#）——超声波纯水清洗1次约1min（4#）——10%氢氟酸+10%盐酸混酸浸没腐蚀约10min（5#）——纯水快排喷淋清洗1次约1min（6#）——隧道式烘干机电热烘干（7#）。2#槽和6#槽的纯水快排喷淋清洗具体过程为将碎电池片放入清洗槽后，纯水自槽底部的出水口快速涌出，直至将碎电池片完全浸没，而后打开槽底的排水口，同时位于槽顶部的喷嘴开始喷淋清洗，整个清洗过程共计约1min。上述酸（碱）洗腐蚀清洗过程共有6个腐蚀/清洗槽，2#、4#、6#槽均采用纯水清洗，清洗后分别产生氢氟酸硝酸混酸腐蚀后清洗废水W4、碱腐蚀后清洗废水W5、氢氟酸盐酸混酸腐蚀后清洗废水W6由各槽排出。1#混酸腐蚀槽、3#碱腐蚀槽和5#混酸腐蚀槽每4小时补充一次洗液，每24小时更换一次洗液，会产生一定量的废液，分别为废酸液S4、废碱液S5、废酸液S6；同时在1#槽氢氟酸硝酸混酸腐蚀和5#槽氢氟酸+盐酸混酸腐蚀过程中，会产生酸性废气G3。在整个腐蚀/清洗过程中酸腐蚀、碱腐蚀及纯水清洗过程表面均用氮气封面，以避免电池片中的多晶硅被氧化。经腐蚀、清洗处理后的碎电池片，可作为多晶硅原料返回多晶硅硅片生产线直接装入准备好的坩埚内。
2.2.2多晶硅硅片生产线工艺流程及产污环节分析
多晶硅硅片的生产主要包括铸锭、切割和硅片清洗三道工序。 （1）铸锭工序
铸锭工序是以进口的高纯度（99.9999%）免洗多晶硅料为原料（拟建三期项目硅锭切割工序产生的边角废料、头尾废料、废硅片等返回铸锭工序经喷砂、腐蚀处理后，作为原料重复利用），在铸锭炉内铸成约400kg硅锭的过程。铸锭工序主要包括硅料准备、坩埚准备及装料、硅锭生长三个步骤。铸锭工序主要是为了形成便于切片的硅锭。
①硅料准备
进口的高纯度免洗多晶硅料在进行利用前需要测试其电阻率，根据电阻率由人工进行硅料分类，其中不合格的硅料（S7）先退库集中存放后返回厂家，合格的硅料直接装入准备好的坩埚内。经硅料处理车间喷砂、腐蚀处理后的废硅料，可作为原料直接装入准备好的坩埚内。
②坩埚准备及装料
首先将坩埚用压缩空气吹扫干净，同时将固态氮化硅溶于水中，在强力搅拌器内搅拌均匀，然后均匀喷涂在坩埚内壁上形成氮化硅涂层，防止坩埚内的杂质在后续铸锭过程中进入硅锭，坩埚喷涂过程中有少量含氮化硅粉尘的废气（G4）产生，
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废气经布袋除尘器处理后，产生少量的废氮化硅粉灰（S8）。将喷涂好涂层的坩埚放进电烘箱进行坩埚烧结，烧结温度达1500℃，烧结时间约40h，烧结结束后烘箱断电，自然冷却至室温，然后将准备好的硅料及单晶搀杂剂按照一定的工艺顺序摆放到坩埚内，其中单晶搀杂剂主要成分为硼硅母合金，用于调节硅锭的电阻率。
③硅锭生长
将装好料的坩埚通过专用的装卸工具装入铸锭炉中，密封铸锭炉后进行抽真空，在真空度达到工艺要求后，充入保护气氩气并开始自动运行程序。程序运行完成后，硅锭在铸锭炉内氩气气氛下冷却至400℃左右时，用专用叉车将硅锭取出，硅锭出炉后自然冷却至室温。此过程中硅料加热约3小时40分钟，硅料熔化保温约10小时，降温形成硅锭的时间约9小时，形成的硅锭约400kg左右，铸锭炉夹套用纯水冷却。其中坩埚内壁上的氮化硅涂层会有少部分附着在硅锭上，由于坩埚与硅锭伸缩系数不一致，在冷却过程后期会发生破裂，因此在冷却过程中会产生废坩埚（S9）。
（2）切割工序
切割工序主要包括硅锭切块、硅块去头尾、硅块粘结与切片三个步骤。 ①硅锭切块
将铸好的硅锭通过聚氨酯组合料粘接到工件板（即铸铝金属板）上，固化后通过专用工具装入破锭机内，利用钢线携带切割液（即碳化硅浆料）进行切割，将硅锭切割成25块横截面积为156mm×156mm的硅块，取出铸铝金属板并使用手板锯进行锯切将硅块取下。其中切割液（碳化硅浆料）主要成分为聚乙二醇和碳化硅，即将碳化硅固体搅拌到聚乙二醇中形成的悬浮液；硅锭切块一次大约需要10h，切块过程需要将硅锭四周粘有少量氮化硅的四个边切掉，从而产生部分边角废料（S10），该部分边角废料经收集后返回铸锭工序经喷砂、腐蚀处理后作为原料重复利用；在切块时随钢线切下的切割碎硅末被携带进入切割液中，破锭机自带过滤系统将切割液滤除大颗粒碎屑后循环利用，过滤过程产生的滤渣主要是废硅屑（S11-1），一般切割液每循环利用20次需更换1次，更换时产生废切割液（S12-1）；同时切割过程产生废钢线（S13-1）；铸铝金属板属于设备配件，能多次重复利用。
②硅块去头尾
硅块的头部和尾部（上部和下部）杂质较多，主要有附着的氮化硅等，而且不平整，不可用于生产电池片，在切割成硅片之前须将这一部分去掉。具体步骤是先用水将硅块清洗干净，该过程产生少量清洗废水（W7）；为避免硅块棱角被磕碰，再在倒角机上对硅块的棱角进行1.5mm×45°倒角，倒角时用水冲洗冷却倒角机，倒角
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过程产生少量的废硅屑（S11-2）以及少量冲洗废水（W8）；然后用小带锯将硅块头尾区域去除一部分，使用带锯进行切割的过程中一直用水冲洗以冷却带锯，因此去头尾过程中产生一定量的头尾废料（S14）和少量的冲洗废水（W9）。去头尾过程产生的头尾废料经收集后返回铸锭工序经喷砂、腐蚀处理后作为原料重复利用。切割好的硅块进入下一步粘结与切片。
③硅块粘结与切片
将去除头尾的硅块用布擦干净，然后用AB胶（环氧树脂）将硅块与玻璃板、不锈钢工件板粘结在一起，形成晶棒，在室温下自然固化，AB胶耐热性、绝缘性、硬度和柔韧性均较好，在常温下不挥发。固化好的硅块用专用工具装入线锯，在钢线带着切割液的情况下开始自动切割成片。一次可同时装入4组硅块（每组2块硅块），切割完成后形成4600片硅片，通过特殊工具将成组的硅片（以晶棒为单位）取出。线锯自带过滤系统将切割液滤除大颗粒碎屑后循环利用，过滤产生的滤渣主要是废硅屑（S11-3），一般切割液每循环利用20次需更换1次，更换时产生废切割液（S12-2）；同时切片过程产生废钢线（S13-2）；不锈钢工件板属于设备配件，能多次重复利用。
（3）硅片清洗工序
硅片清洗的主要目的是将硅片表面附着的切割液（碳化硅浆料）清洗干净。首先把切割成片的晶棒放入硅片清洗台中，打开出水阀门，调节出水压力，用喷头慢慢地沿着切缝仔细清洗浆料，当水不再浑浊时，晃动并分离硅片与玻璃；把分离开的硅片竖着放在冲洗台的泡沫板上，用水沿着切缝仔细清洗切割浆料，直至硅片表面无浆料，清洗过程产生部分清洗废水（W10）、拣选出切片过程切坏的废硅片（S15-1）、废玻璃（S16）；将冲洗好的硅片胶面朝上放入除胶槽，在50～60℃温水中浸泡10-15分钟后，将胶擦去，除胶过程产生浸泡除胶废水（W11）、拣选出切片过程切坏的废硅片（S15-2），废AB胶（S17）；再将清洗干净且形状合格的硅片放入输送带上，进入链式硅片清洗机进行清洗，链式硅片清洗机共有5个清洗步骤，依次为纯水喷淋清洗（1#）——超声波药液清洗（2#）——纯水喷淋清洗（3#）——纯水喷淋清洗（4#）——风切吹干（5#），其中超声波药液清洗过程所使用的药液由NaOH、高纯清洗剂、水按一定比例配制而成。链式硅片清洗机共有4个清洗槽，1#至4#槽均自带槽液过滤装置，通过过滤后，槽内洗液或水均自循环重复利用，同时，1#、3#、4#槽均为纯水喷淋清洗，采用逆流清洗，即纯水由4#槽补充，4#槽的清洗水逆流补充3#槽，3#槽内清洗水再逆流补充1#槽，纯水清洗过程产生的清洗废水
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（W12）由1#槽排出。超声波药液清洗槽每4小时添加一次药液，每24小时更换一次药液，会产生一定量的废药液（S18）。
硅片清洗后根据硅片质量对硅片进行测试分选，测试分选过程会产生少量不合格的废硅片（S15-3），根据分选结果进行包装。
在硅片清洗及测试分选过程中产生的废硅片（S15-1至S15-3）经收集后返回铸锭工序经喷砂、腐蚀处理后作为原料重复利用。
2.2.3太阳能电池片生产线工艺流程及产污环节分析
太阳能电池片的生产主要包括硅片制绒/清洗、磷扩散、湿法刻蚀、硼扩散、边缘绝缘和化学清洗、PECVD沉积氮化硅膜、丝网印刷、烧结及激光刻蚀、测试分选、包装等工序。
（1）硅片制绒/清洗
硅片在切割过程中会在表面形成大约10～15μm厚的损伤层，这一层因为与硅片基体的状态已经不同，基本上已经剥离于基体，会严重影响太阳能电池的性能，所以要把此损伤层去除，使硅片裸露出完好的表面，即对硅片表面进行绒面化处理，同时进行高纯度清洗，为扩散制结作准备。硅片制绒/清洗在制绒清洗HF腐蚀机中进行，具体过程为：1%氢氧化钾+4%异丙醇溶液喷淋碱洗约90s（1#）——纯水喷淋清洗1次约1min（2#）——10%盐酸+5%氢氟酸混酸喷淋酸洗约30s（3#）——纯水喷淋清洗1次约1min（4#）——风切吹干（5#），整个过程在同一个清洗设备中完成。制绒清洗HF腐蚀机共有4个腐蚀/清洗槽，其中 2#槽、4#槽的分别产生清洗废水W13-1、W13-2）；1#碱洗槽、3#酸洗槽每4～6天更换一次洗液，会产生一定量的废液，分别为废碱液S19、废酸液S20。同时在1#槽氢氧化钾+异丙醇碱洗过程及3#槽盐酸氢氟酸酸洗过程中，会因异丙醇及酸性物质挥发而产生酸性废气G5。
在制绒/清洗过程中，少部分氢氟酸与硅片上的硅、氧化硅发生反应，形成硅的络合物H2SiF6（参与反应的量不易确定）。硅片制绒/清洗过程发生的化学反应主要有：
SiO2+4HF = SiF4+2H2O SiF4+2HF = H2SiF6 反应物也被水冲洗除去。 （2）磷扩散制结
磷扩散制结是在高温条件下把磷原子扩散进入硅片的表面，在硅片表面形成一个与基体材料导电特性相反的薄层的过程。
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首先向扩散炉中通入大量的N2将炉内石英管中的空气置换完全，之后通入O2，并对扩散炉进行电加热，待炉温升至920℃且温度恒定后，把清洗好的硅片放入扩散炉内，同时由氮气将液态三氯氧磷（POCl3）吹入扩散炉中，在高温下POCl3与O2、Si反应生成SiO2和磷原子。磷原子（P）在高温下逐步向硅片内部扩散，在硅片表层形成一定的浓度梯度，最终形成P-N结。反应过程中Si和O2均过量，POCl3完全反应，反应产生含cl2及SiO2粉尘的废气G6。扩散制结过程发生的化学反应主要有：
4POCl3+3O2=2P2O5+6Cl2 2P2O5+5Si=5SiO2+4P （3）湿法刻蚀
磷扩散后需要去除硅片背面及边缘n型电极，并对硅片再次进行腐蚀，以去除硅片在扩散过程中形成的表面氧化层，从而使硅片上下两边P-N结隔离。
上述过程在湿法刻蚀机中进行，具体过程为：24.5%硝酸+2.58%氢氟酸+16.26%硫酸混酸酸洗2～5min（1#）——纯水喷淋清洗约2～5min（2#）——5%氢氧化钾溶液喷淋碱洗约2～5min（3#）——纯水喷淋清洗约2～5min（4#）——5%氢氟酸酸洗约2～5min（5#）——纯水喷淋清洗约2～5min（6#）——压缩空气吹干（7#）。氧化层可以被完全去除。湿法刻蚀机共有6个腐蚀/清洗槽，2#、4#、6#槽均为纯水喷淋清洗，采用逆流清洗，即纯水由6#槽补充，6#槽的清洗水逆流补充4#槽，4#槽内清洗水再逆流补充2#槽，纯水清洗过程产生的清洗废水W15由2#槽排出。1#酸洗槽、3#碱洗槽、5#酸洗槽每4～6天更换一次洗液，会产生一定量的废液，分别为废酸液S21、废碱液S22、废酸液S23。同时在1#槽混酸酸洗及5#槽氢氟酸腐蚀过程中，会因酸性物质挥发及反应产生酸性废气G7。
在湿法刻蚀过程中少部分硝酸、氢氟酸与硅发生反应，形成硅的络合物。湿法刻蚀过程发生的化学反应主要有：
Si+4HNO3 = SiO2+4NO2↑+2H2O SiO2+4HF = SiF4+2H2O SiF4+2HF = H2SiF6 （4）硼扩散
采用液态三溴化硼（BBr3）在扩散炉内对晶片进行扩散。硼扩散制结是在高温条件下把硼原子扩散进入硅片的表面，在硅片表面形成一个与基体材料导电特性相反的薄层的过程。
首先向扩散炉中通入大量的N2将炉内石英管中的空气置换完全，之后通入O2，
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并对扩散炉进行电加热，待炉温升至920℃且温度恒定后，把清洗好的硅片放入扩散炉内，同时由氮气将液态三溴化硼（BBr3）吹入扩散炉中，在高温下BBr3与O2、Si反应生成SiO2和硼原子。硼原子（B）在高温下逐步向硅片内部扩散，在硅片表层形成一定的浓度梯度。反应过程中Si和O2均过量，BBr3完全反应，反应产生含Br2及SiO2粉尘的废气G8。扩散过程发生的化学反应主要有：
4BBr3+3O2 = 2B2O3+6Br2 2B2O3+3Si = 3SiO2+4B （5）边缘绝缘和化学清洗
硼扩散后需要对硅片进行边缘绝缘以及再次进行腐蚀，以去除硅片在扩散过程中形成的表面氧化层。此过程在湿法刻蚀机中进行，先用等离子刻蚀硅片边缘，
等离子刻蚀工序所需的工艺气体为四氟化碳（CF4）和氧气（O2），在等离子状态下的离子有氟离子、碳离子和氧离子，将硅片边缘的一薄层硅反应掉，从而达到去除P-N结，使上下两面隔断。所需的工艺气体为CF4和O2，另需氮气N2为稀释气体。反应方程式如下：
CF4=CFx·+（4-x）F· Si+4F·=SiF4↑ SiO2+4F·=SiF4↑+ O2↑
（x≤3）
（该反应为对硅的刻蚀） （该反应为对二氧化硅的刻蚀）
刻蚀后硅片用9%的氢氟酸酸洗约2～5min，再用纯水喷淋清洗约5min，产生一定量清洗废水W15，酸洗槽每4～6天更换一次洗液，会产生一定量的废酸液S24，等离子刻蚀过程会产生少量刻蚀反应废气、酸洗过程中会因酸性物质挥发而产生酸性废气，这两股废气一并收集作为G9处理。最后将电池片烘干。
（6）PECVD沉积氮化硅膜
气相沉积的基本原理是利用高频光放电产生等离子体对薄膜沉积过程施加影响，促进气体分子的分解、化合、激发和电离，并促进反应性基团的生成。
将预处理好的硅片放入全自动PECVD沉积炉中，并通入硅烷和氨气，利用高频微波将硅烷（SiH4）和氨气（NH3）激发为等离子体状态，Si原子与N原子以一定的比例沉积到硅片表面形成一层氮化硅（Si3N4）薄膜，起到减反射和钝化的作用，同时反应生成H2。此过程中氨过量，过量的NH3和反应生成的气体H2及微量的未反应完全的SiH4作为废气G10进入设备自带的尾气焚烧器中通入过量空气焚烧处理，可燃物SiH4和H2燃烧生成SiO2和H2O，NH3燃烧后生成N2和H2O，燃烧后废气进入水喷淋塔喷淋降尘后排放。在PECVD沉积氮化硅膜过程中发生的化学反应主
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要有：
3SiH4+4NH3=Si3N4+12H2
尾气焚烧过程中发生的化学反应主要有： SiH4+O2=SiO2+2H2 2H2+O2=2H2O 4NH3+3O2=2N2+6H2O
（7）丝网印刷、烧结及激光刻蚀
本工序是将外购的成品银铝浆、银浆用丝网印刷机分别印在硅片背面和正面，然后放入电池烧结炉，在N2保护气氛和一定温度下将银铝浆和银浆渗透至硅片内部，增强导电性能，形成太阳能电池背电极和正面银电极的过程。其中银铝浆、银浆是以超细高纯度的铝粉、银粉为主体金属，配以一定量的有机粘合剂及树脂等作辅助剂制成的膏状印刷浆料，有机粘合剂主要是环氧树脂、丁基-乙二醇。银铝浆、银浆通过丝网印刷全部进入产品中，无污染物排放。
首先在硅片背面印刷银铝浆，以形成背电极，有利于组件的焊接。然后经烘箱烘干，烘干过程产生烘干废气G11，然后在硅片正面印刷银浆，形成正面电极以收集电子，再经烘箱烘干，烘干过程产生烘干废气G11。上述烘干过程浆料的烘干温度均在200℃左右。印刷好的硅片使用国际通用的烧结炉进行烧结，烧结炉分为不同的温度区，烧结过程中硅片形成上下电极，烧结的最高温度在800～900℃。烧结过程中产生少量的烧结废气G11。烧结后再通过激光刻蚀在电池正面划出一道浅的隔离沟，使上下电极分开。
（8）测试分选
在模拟太阳光的条件下，使用太阳模拟器和电子负载测试太阳能电池的电性能参数（如测量其I-V曲线和光的转换率等电参数）。测试完成后电池会按照一定的标准被自动分为多档。当某一档内电池片达到规定数目时，设备会提醒操作人员取出进行包装。设备还具备碎片检测功能，发现碎片后会及时剔出，而不作为完整的电池进行测试。测试分选过程会产生少量的碎电池片S25，该部分碎电池片收集后先将大片尚可利用的部分用于制作小型的电池组件，其余不可利用的碎片，返回硅料处理车间碎电池片处理回收工序处理后，作为多晶硅原料重复利用。
（9）包装
采用手工包装的形式，将自动分选好的太阳能电池片按照色差再次分类，并按规定数量打包，用拉伸塑料薄膜包覆，置于泡沫塑料盒中，包装好泡沫盒后贴上标
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签按规定标识入库，然后送到电池组件车间利用。
2.4太阳能电池组件生产线工艺流程及产污环节分析
太阳能电池组件的生产主要包括电池准备、焊接、敷设、EL测试、层压、修边、EL测试、装框、安装接线盒、固化、IV测试、包装入库等工序。
（1）电池准备
通过测试电池的输出参数（电流和电压）的大小对其进行分类。以提高电池的利用率，做出质量合格的电池组件。
（2）焊接
单片太阳能电池片不易于搬运、存放，且产生的功率较小，需将一定数量的电池片按照一定的规则进行排布焊接。本工序就是将一定数量的电池片通过焊带（锡片）焊接成一串电池串的过程，在自动化设备焊接机中完成。
（3）敷设
将焊好的电池串摆放到铺有EVA的免洗钢化玻璃上，再在电池串上覆盖一层EVA、加上背板，并将电池串按照电路设计进行汇流带连接。即从上至下将免洗钢化玻璃、EVA、电池串、EVA、背板组合好，再连接正负极，形成电池组件。EVA是一种塑料，是乙烯和醋酸乙烯的共聚物，实际上是一种橡胶态共聚物。汇流带与焊接用的焊带成份相同，均为含铜的一种带状物品。背板为一种特殊的纸制品。
（4）EL测试
给敷设好的组件正负极通电，电池会发出一定波段的光，在暗室里，利用设置好的电子相机和微机系统，可以清晰地显示电池面貌，检查人员可以发现肉眼无法发现的微裂纹、短路等缺陷。
（5）层压
将敷设好的电池组件放到层压机中抽真空，然后在一定压力及温度下（140～150℃）使EVA膜熔化，将电池片、玻璃、背板粘结成一个整体，从而达到电池片长期保存的目的。此过程只是加热至EVA熔化，将敷设好的几层物质粘结起来，其熔化温度不致使熔化的EVA产生废气，故无废气排放。
（6）修边
层压时EVA熔化后由于压力而向外延伸固化形成毛边，所以层压完毕应将其切除。修边过程会产生废EVA及背板S26。
（7）EL测试
过程同上，主要是复检层压后的组件，因为层压会有一定的压力，存在碎片的
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可能性。
（8）装框
给玻璃组件装框，增加组件的强度，进一步的密封电池组件，延长电池的使用寿命。利用特殊的双面压敏胶带，高自动化的机器人，对玻璃和铝材的相对位置进行定位，然后将组件和铝框粘接在一起。
（9）安装接线盒
在组件背面引线处安装一个盒子，以利于电池与其他设备或电池间的连接。利用硅胶粘剂将接线盒与背板粘接在一起，并在背面引线处填充绝缘灌封胶。
（10）固化
组件放置在特定的堆栈区域，静置45分钟，利于硅胶的充分反应并固化。 （11）IV测试
利用太阳模拟仪，测定已经成型的组件，主要测试电流（I），电压（V），功率（P），根据测试结果，将组件分为不同类别。然后进行高压测试，高压测试是指在组件边框和电极引线间施加一定的电压，测试组件的耐压性和绝缘强度，以保证组件在恶劣的自然条件（雷击等）下不被损坏。测试过程中会产生少量的不合格电池产品S27，该部分废物先进行拆解，回收可利用的组件及部分较大片电池片，不可利用的碎电池片，返回硅料处理车间碎电池片处理回收工序处理后，作为多晶硅原料重复利用。
（12）包装入库
给成品组件进行一定的外包装，保证组件在存放或运输过程中不会互相挤压磕碰或受到外界灰尘污染。
太阳能电池组件生产线主要是将电池片用焊带焊接成电池回路，并用EVA胶膜将电池片回路与钢化玻璃、背板粘结在一起，整个过程中没有有害气体及废水的排放。
三、环境影响报告书主要结论建议及环评批复内容
3.1 环境影响报告书主要结论及建议 3.1.1结论
XX（中国）有限公司是XX公司在中国XX省XX国家高新技术产业开发区投资成立的外商独资企业，注册资本xx美元。XX国际系在XX属XX注册成立的有限责任公司，是XX公司的全资子公司。
XX（中国）有限公司的主营业务有硅太阳能电池及其相关配套产品、风机及其
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相关配套产品、热发电产品、控制器、逆变器、兆瓦级跟踪器的研发、生产、销售、技术咨询及服务；太阳能光伏电站工程的设计、安装、施工。
三期项目用地位于xx开发区XX公司已获批的 “年产300MW单晶硅太阳能电池项目”厂区内，具体位置在XX北三环路以南，XX以西，XX以北，XX公司三期工程以东。该地块内原规划建设“新建年产400MW多晶硅太阳能电池项目”（环评于xxx年xx月xx日获得环境保护部的批复，环审[xxx]xx号），xxx年xx月，XX将其变更为新建年产300MW单晶硅太阳能电池项目，于xxx年xx月xx日获得环境保护部的批复（环审[xxx]xx号）。随着国家光伏行业的飞速发展，XX为满足市场需求，依托现有在建年产300MW单晶硅太阳能电池项目，增加年产300MW多晶硅太阳能电池的产能。三期项目完成后，全厂太阳能电池总生产规模将达到600 MW/a（其中300MW/a单晶硅太阳能电池，300MW/a多晶硅太阳能电池）。
（1）三期项目符合相关产业政策
三期项目属于《外商投资产业指导目录（2007年修订）》中鼓励外商投资产业目录中第三类“制造业”的第(二十一)小类“通信设备、计算机及其他电子设备制造业”中第18项“高技术绿色电池制造：动力镍氢电池、锌镍蓄电池、锌银蓄电池、锂离子电池、高容量全密封免维护铅酸蓄电池、太阳能电池、燃料电池、圆柱型锌空气电池等”。
（2）项目选址符合相关规划，选址合理
根据XX“一主三次”城市发展规划纲要（xxx-xxx年），在XX中心城市的基础上，依托“XX·中国电谷”和汽车及零部件产业基地，加快发展以汽车和新能源产业为主导的现代制造业。项目属于新能源产业，符合XX城市发展规划的要求。
根据XX国家高新区“十一五”规划提出的目标：“加快产业建设，重点发展五大产业：新能源与能源设备产业、电子信息（软件）产业、新材料产业、生物制药产业、轻工食品，把新能源产业打造为“中国电谷”，使其成为立省立市立区的主导产业”。另在产业规划中提出“把XX设备产业基地建设成中国电谷。”项目属于新能源与能源设备产业，符合高新区发展规划的要求。
根据XX·中国电谷一期控制性详细规划，三期项目位于电谷一期规划的光伏发电产业园区中，符合电谷一期发展规划的要求。
（3）三期项目生产符合清洁生产的要求
三期项目采用先进的生产技术，其生产工艺处于国际先进水平，产品属于清洁绿色产品。生产过程采用清洁能源、先进生产设备和控制技术、有效可行的废水回
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用技术，同时采用先进的管理模式，有效地减少了物耗、水耗、能耗和污染物排放量。项目建成后，清洁生产各主要指标均处于较先进水平。因此，三期项目生产符合清洁生产要求。
（4）采用切实有效的污染防治措施以保证污染物达标排放 ⑴水污染防治措施
三期项目建成后全厂生产过程产生的高含氟废水及酸碱废液、低氟废水及酸碱废水均进入含氟废水及酸碱废水处理系统处理。首先对高含氟废水、酸碱废液混合后加入CaCl2、Ca(OH)2、絮凝剂进行反应沉淀（第一次）+砂滤处理后，与经调节池的低氟废水、酸碱废水在混合池内混合、调pH，而后采用加入CaCl2、Ca(OH)2、絮凝剂反应沉淀（第二次），之后再通过砂滤+超滤+反渗透的处理工艺，处理后反渗透系统的出水回用于纯水制备，反渗透浓缩液经CaCl2、Ca(OH)2、絮凝剂反应沉淀（第三次）处理后，在总排口与厂区其他废水混合后，达标排入xx污水管网，进入xx污水处理厂进一步处理后排入xx。
三期项目建成后全厂生产过程产生的有机生产废水、生活污水、太阳能电池片生产线硅片制绒清洗过程1%氢氧化钾+4%异丙醇碱液腐蚀产生的废碱液进入有机生产废水及生活污水处理系统处理。废碱液先经中和预处理后，与有机生产废水混合，经絮凝沉淀+微电解+絮凝沉淀+水解酸化+UASB处理后，与经化粪池预处理后的生活污水混合，进入接触氧化池处理，出水达标排入xx污水管网，进入xx污水处理厂处理，而后排入xx河，最终进入xx。UASB厌氧产生的沼气，进入沼气回用系统回收利用热量。
三期项目废水处理措施可行。 ⑵大气污染防治措施
项目运营期所排放的废气主要有含尘废气、酸性废气、碱性废气、有机废气、沼气回用系统燃烧尾气。
a、含尘废气
主要为废硅料返回硅料处理车间废硅料处理回收工序喷砂过程产生的废硅料喷砂含尘废气和多晶硅硅片生产车间坩埚准备工序产生的坩埚喷涂含尘废气。废硅料喷砂含尘废气经4套布袋除尘器除尘后经1个25m高排气筒排放；坩埚喷涂含尘废气经1套布袋除尘器处理后经1个25m高的排气筒排放。
b、酸性废气
主要包括硅料处理车间废硅料盐酸腐蚀酸雾，硅料处理车间碎电池片HF、HNO3
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混酸洗及HF、HCl混酸洗酸雾，太阳能电池片生产线的硅片制绒清洗酸雾，磷扩散制结反应废气，湿法刻蚀酸雾，硼扩散反应废气，等离子刻蚀反应废气及氢氟酸化学清洗酸雾，电池车间空调系统集中抽风排气。
硅料处理车间废硅料盐酸腐蚀酸雾采用1套干式吸附塔处理后经1个25m高的排气筒排放。
硅料处理车间碎电池片HF、HNO3混酸洗及HF、HCl混酸洗酸雾采用1套NaOH碱喷淋塔+干式吸附塔综合处理，经1个25m高的排气筒排放。
太阳能电池片生产线的硅片制绒清洗酸雾采用1套NaOH碱喷淋塔+干式吸附塔处理，经1个25m高的排气筒排放。
磷扩散制结反应废气采用1套干式吸附塔处理，经1个25m高的排气筒排放。 湿法刻蚀酸雾采用2套NaOH碱喷淋塔+干式吸附塔处理，经2个25m高的排气筒排放。
硼扩散反应废气采用1套干式吸附塔处理，经1个25m高的排气筒排放。 等离子刻蚀反应废气及氢氟酸化学清洗酸雾采用1个NaOH碱喷淋塔处理后，经1个25m高的排气筒排放。
电池车间空调系统集中抽风排气通过位于生产车间楼顶的25m高排风口排放。 c、碱性废气
主要为太阳能电池片生产线的PECVD沉积氮化硅膜反应废气，该部分废气经设备自带尾气焚烧器焚烧处理后，通入1座水喷淋塔喷淋吸收，而后经1个25m高的排气筒排放。
d、有机废气
主要为太阳能电池片生产线丝网印刷后烘干废气及烧结废气，采用水（溶有絮凝剂）喷淋塔+活性炭吸附装置处理，经1个25m高的排气筒排放。
e、沼气回用系统燃烧尾气
主要为沼气回用系统燃烧产生的尾气，经1个25m高的排气筒排放。 三期项目废气治理措施可行。 ⑶ 固体废物防治措施
三期项目产生的一般工业固体废物均进行回收利用或综合利用，危险固废送至有资质的单位进行安全处理或处置或进行回收利用，不会对周围环境产生影响。项目固体废物处理处置措施可行，不会造成对环境的二次污染，对周围环境影响较小。
⑷ 噪声防治措施
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项目营运期的高噪声设备主要有线锯、破锭机、带锯、研磨机、喷砂机、空压机、各类机泵等，项目通过采取厂房隔声、消音、减振等措施进行降噪，对厂界声环境影响较小。
（5）污染物排放符合总量控制要求 三期项目的总量控制指标建议为：
废气：氟化物3.77t/a（扩建后全厂7.14 t/a）；废水：COD77.28t/a（扩建后全厂150.6t/a）、氟化物1.79t/a（扩建后全厂3.47t/a）。
三期项目建成后全厂COD的总量控制指标150.6t/a（119.6t/a为现有在建项目（XX中国二期工程）“新建年产300MW单晶硅太阳能电池项目”已申请总量，其余31.0t/a为本次拟建三期项目需申请增加的总量）已获XX环保局批准。
（6）项目建成后，外排污染物不会导致当地环境质量下降
空气环境质量：项目所在区的环境空气质量较好，评价区各监测点各监测因子的监测结果均未超标。
水环境质量：XX河位于XX污水处理厂排污口下游河段及xx河位于XX河进入XX河交汇处下游河段均已超出《地表水环境质量标准》（GB3838-2002）的IV类水质标准要求。
声环境质量：项目厂界的昼间及夜间噪声均未超标，项目所在区声环境质量较好。
大气环境影响预测表明：采用XX市2009年全年逐次气象数据进行模拟，拟建三期项目污染源及叠加厂区内现有在建项目（XX中国二期工程）“新建年产300MW单晶硅太阳能电池项目”和厂区西侧XX三期工程地块内的在建项目XX中国三期工程污染源后PM10、NO2、HCl、氟化物、Cl2和异丙醇日均浓度，NO2、HCl、氟化物、Cl2、异丙醇、NH3和非甲烷总烃小时浓度在最不利气象条件下在各关心点的贡献值及在各监测点叠加背景值后浓度均未超标。
根据大气环境防护距离及卫生防护距离计算结果，各车间、库房的卫生防护距离为：硅料处理车间100m，污水处理站100m。各车间及库房的卫生防护距离内均无敏感目标，卫生防护距离可行。
水环境影响分析表明：三期项目建成后全厂污水排放总量为4231.32m3/d（其中现有在建项目2039.19 m3/d，三期项目2192.13 m3/d），占xx污水处理厂设计处理能力的5.3%（其中现有在建项目占2.5%，拟建三期项目占2.7%），根据目前XX污水处理厂的实际运行情况，处理厂尚可接纳废水量1万m3/d，因此，三期项目所排废
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水进入XX污水处理厂处理，不会对处理厂的处理过程造成不利影响，对处理厂的出水水质影响很小。
通过将三期项目及现有在建项目（XX中国二期工程、XX中国三期工程）所排放的氟化物，对XX河及XX河的氟化物水质指标影响进行预测，XX河及XX河预测增加浓度叠加现状监测值后，氟化物均未超标，在可接受的范围内。
三期项目高噪声源经合理分布、有效治理后，对厂界及周围敏感点影响较小。 综上所述，项目建成后，外排污染物不会导致当地环境质量下降。 （7）事故风险评价结论
根据拟建三期项目生产所用化学物质名称及贮存量，对照风险导则附录A.1中的危险物名称及临界量，确定项目危险化学品储存区为重大危险源。
经计算得拟建三期项目全厂风险值Rmax为3.6×10-5/a，化工行业可接受风险水平RL取8.33×10-5/a，拟建三期项目风险值远低于该值。
因此，拟建三期项目建设的风险水平是可以接受的。 （8）公众参与结论
公众参与结果表明，被调查者中38.13%支持本项目建设，28.06%的人表示有条件赞成本项目建设，28.06%的人表示无所谓，无人反对本项目建设；被调查者中73.38%同意本项目的选址，26.62%表示无所谓，污染反对本项目的选址。说明周围群众支持本项目选址及建设。
公众在环保方面提出的建议和要求，主要有：要求按环保要求，项目做好运营期废水及废气的处理，做好固废的处置以及噪声的防治工作，尽量减少对周围环境的影响；多种绿色植物，不要浪费水资源。本着绿色工程的理念，保护好土地和水资源；多开展环保教育活动。
建设单位承诺将采纳公众的意见。
网络公示和张贴公告阶段中无公众意见反馈。
3.1.2建议
（1）建议不断改进生产工艺，研发先进产品，提高产能和降低原材料消耗。 （2）加强噪声治理和防噪设备的维护，降低对周围声环境的影响。
（3）严格按照国家关于清洁生产和节水的有关规定，进一步提高全厂冷却水循环使用率和提高中水回用率。
（4）切实做好绿化工作，落实绿化措施，减轻废气和噪声对周围环境污染。 （5）加强固体废物在厂内堆存期间的环境管理。
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（6）加强管道和设备保养和维护。安装必要的用水监测仪表，减少跑、冒、滴、漏，最大限度地减少用水量。
（7）加强职工的清洁生产意识教育，要求职工在日常生产过程中严格按照有关操作规程进行操作，避免造成资源和物料的浪费，提高资源及物料的利用率。
3.2 环评报告表批复主要内容
一、XX公司增设建设三期年产300兆瓦多晶硅太阳能电池项目，依托本公司二期工程，不新增建筑物，只在二期工程厂房内新增设备。主要建设内容包括：多晶硅硅片生产设备、多晶硅太阳能电池组件生产设备、硅料处理装置及辅助、环保工程。项目总投资16601万元（由发改委核准）。项目选址位于XX市北部XX技术产业开发区内，XX市国土资源局和XX城乡规划管理局XX区分局分别出具同意项目占地和选址的意见。
在全面落实环评报告书提出的各项环境污染防治措施的前提下，我厅同意你公司按照环评报告书中所列内容进行建设。
二、项目运行管理中还应重点做好以下工作 （一）认真落实各项污染防治措施
（1）项目及在建的二期工程产生的酸碱废水与含氟废水共用一套加钙沉淀＋絮凝沉淀＋沙虑＋超滤＋反渗透的处理装置，处理规模增至4100立方米/日，处理后出水回用与纯水制备；拟建项目及在建的二期工程产生的有机生产废水与经中和预处理后的太阳能电池片生产线废碱液，共用一套絮凝沉淀+微电解+絮凝沉淀+水解酸化+UASB处理装置，处理规模增至2000立方米/日，处理后出水与经化粪池处理后的生活污水一并进入接触氧化池处理；上述经预处理后的废水与拟建项目产生的部分浓盐水、制冷机及空调系统循环排水混合后，外排XX污水处理厂进一步处理。混合水质中氟化物排放浓度须达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）二级标准、氯化物排放浓度须达到《氯化物排放标准》（DB13/831-2006）表1中三级Ⅰ类标准，其他污染均达到《污水综合排放标准》（GB8978-1996）三级标准及XX污水处理长进水要求。
（2）废硅料喷砂、坩埚喷涂等含尘废气分别采用布袋除尘器处理；废硅料盐酸腐蚀酸雾、磷扩散制结反应废气分别用干式吸附塔处理；碎电池片酸洗涤酸雾、硅片制绒清洗酸雾分别采用碱喷淋塔+干式吸附塔处理；等离子刻蚀反应废气和氢氟酸化学清洗酸雾采用碱喷淋塔处理；PECVD沉积氮化硅膜反应废气经尾气焚烧器燃烧处理后产生的焚烧废气采用水喷淋塔处理；烘干废气和烧结废气采用水喷淋塔+活性碳
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吸附装置处理；上述经处理后的废气与沼气回用系统燃烧尾气分别经11根不低于25米高的排气筒排放。湿法刻蚀酸雾采用碱喷淋塔+干式吸附塔处理，经2根不定于30米高的排气筒排放。上述外排废气中的颗粒物、氯化物、氯气、氟化物、氮氧化物、异丙醇、硫酸雾、非甲烷总烃排放浓度和速率须达到《大气污染物综合排放标准》（GB14554-1996）表2中二级标准及厂界无组织排放监控浓度限值要求；氨、硫化氢排放浓度须达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）二级标准要求；异丙醇、溴排放浓度满足《大气污染物综合排放标准详解》中规定的方法进行计算得到该污染物的排放标准（异丙醇：1.7毫克/立方米，溴：0.05毫克/立方米）。
（3）采取有效隔声、降噪等措施，确保项目实施后各厂界噪声达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）3类标准要求。
（4）认真落实环评报告书规定的固体废弃物处理、处置措施，严格按照《中华人民共和国固体废物环境污染防治法》和固体废物分类管理名录分别进行妥善管理、处置，不准随意外排。危险废物必须委托有相关危险废物处置资质的单位进行安全妥善处置，厂内危险废物暂存场所须采取基础防渗措施并满足《危险废物储存污染控制标准》（GB18597-2001）的要求。
（5）对厂区地面、车间地面、危废临时存储场、事故池、初期雨水池、污水处理站水池等要采取严格完善的防渗措施，防治渗漏造成地下水污染。
（6）该项目卫生防护距离为100米，在此距离范围内不得新建学校、居民区、医院等永久性环境敏感点。
（7）其他环境管理要求严格按报告书规定的措施落实，确保项目实施后满足环保要求。
（二）加强生产设施及危险原料贮存。运输等设施维护与管理，严格落实环评报告书相关内容和要求。按照风险评价内容需进一步完善应急预案，并落实相关措施，确保事故风险情况下的环境安全。风险防范设施和措施列入本项目验收内容。
（三）认真落实环评报告书中规定的各项清洁生产、污染防治及总量削减措施、工程投产后，其污染物排放总量须控制在XX环境保护局批复的总量指标以内，环评报告书确定的总量削减方案纳入本项目验收内容。
（四）项目建设必须严格执行配套建设的环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。项目竣工后，须向XX环境保护局书面提交试生产申请，经检查同意后方可进行试生产。自试生产之日起3个月内，须按规定程序向我厅申请环境保护验收，验收合格后，项目方可正式投入运行。
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项目建设内容如发生变化，须及时向我厅报告。
（五）你公司在接到本批复后20个工作日内，须将环境影响报告书批复送XX省发展和改革委员会、XX省XX环境保护督查中心、XX环境保护局，并按规定接受各级环境保护行政主管部门的监督检查。同时须按《建设项目环境保护“三同时”执行情况》要求，定期向XX市环境保护局报告“三同时”完成情况。
三、该项目的“三同时”现场监督检查由XX省XX环境监督中心会同XX环境保护局负责。
四、验收监测方案的主要内容
4.1 监测评价执行标准
根据原XX环保厅对此项目的批复及XX市环保局对此项目环境影响评价执行标准的函，此次验收执行标准如下：
（1）废水：污水排放执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中三级标准，并同时满足XX污水处理厂进水水质要求，其中COD≤350mg/L，氟化物排放标准执行表4中其他排污单位二级标准；氯化物排放执行《氯化物排放标准》（DB13/831-2006）表1中三级Ⅰ类标准。
（2）工艺废气执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中二级标准，恶臭污染物执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）二级标准。上述标准中未涉及的大气污染物异丙醇、溴，根据《大气污染物综合排放标准详解》中规定的方法进行计算得到该污染物的排放标准。
（3）厂界噪声执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348—2008）3类标准；
（4）一般工业固体废物执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染物控制标准》（GB18599-2001）；
危险废物执行《危险废物贮存污染物控制标准》（GB18597-2001）及《危险废物鉴别标准》（GB5085.1～5085.7-2007）
（5）三期项目污染物排放总量控制指标
废气中氟化物3.77t/a，废水中COD 77.281t/a、氟化物1.79t/a。
4.2 监测执行标准限值
（1）废气污染物排放标准
生产废气中的颗粒物、HCl、Cl2、氟化物、NOx、非甲烷总烃执行《大气污染物综合排放标准》（GB16297-1996）表2中“新污染源大气污染排放限值”二级标准，碱
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性废气、污水处理站等产生的NH3及H2S等恶臭污染物执行《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）新、扩、改建项目二级标准，见表4-1。
表 4-1 恶臭污染物排放标准
排放速率 污染物 最高允许排放浓度(mg/m3) 排放速率 （kg/h） 14.45 7.55 0.915 0.52 0.59 4.4 8.8 35.0 14.0 排气筒 高度（m） 25 25 25 25 30 30 30 25 25 无组织排放 监控点浓度 限值(mg/m3) 1.0 1.0 0.20 0.40 20μg/m3 0.12 1.2 4.0 1.5 0.06 （GB14554-93）新、扩、改建项目二级标准 (GB16297-1996)表2中“新污染源大气污染排放限值”二级标准 备注 颗粒物（其他） 颗粒物（含SiO2） HCl Cl2 氟化物 氮氧化物 硫酸雾 非甲烷总烃 NH3 H2S 120 60 100 65 9.0 240 45 120 （2）废水污染物排放标准
三期项目废水排放去向为XX污水处理厂，水污染物排放执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中的三级标准，并同时满足XX污水处理厂进水水质要求，其中COD≤350mg/L 、BOD5≤150mg/L、氨氮≤40mg/L，氟化物排放执行《污水综合排放标准》（GB8978-1996）表4中其他排污单位二级标准；氯化物的排放执行《氯化物排放标准》（DB13/831-2006）表1其他行业1类三级标准。项目废水污染物应执行的排放标准见表4－2
表 4-2 废水污染物应执行的排放标准 单位：mg/L，pH除外 监测点位 污染物 pH值（无量纲） SS COD） 污水处理站外排口 BOD5 NH3-N 氟化物 氯化物 最高排放排放浓度 6～9 400 350 150 40 10 350 第20页 共24页
执行标准 （GB8978-1996） 的三级标准 XX污水处理厂进水水质要求 （GB8978-1996） 的二级标准 （DB13/831-2006）
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表1其他行业1类三级标准
（3）噪声
项目北厂界临XX路（主干道）、南厂界XX路（主干道）、东厂界XX（主干道），执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中的4类标准；项目西厂界紧邻XX公司三期工程地块，属于工业区内部，执行《工业企业厂界环境噪声排放
标准》（GB12348-2008）中的3类标准。项目运营期厂界应执行的噪声标准见表4－3。 表 4-
表 4-3 厂界环境噪声排放限值 单位：dB(A)
区 域 西厂界 东、南、北厂界 类别 3 4 标准值 昼间 65 70 夜间 55 55 （4）固体废物
一般工业固体废物执行《一般工业固体废物贮存、处置场污染物控制标准》（GB18599-2001）；
危险废物执行《危险废物贮存污染物控制标准》（GB18597-2001）及《危险废物鉴别标准》（GB5085.1～5085.7-2007）。
4.2.3 监测内容
表4-4 验收监测内容 监 测 点位 硅料处理车间废硅料喷砂含尘废气 硅料处理车间废硅料盐酸腐蚀酸雾 硅料处理车间碎电池片HF、HNO3混酸洗及HF、HCl混酸洗酸雾 废气 多晶硅硅片生产车间坩埚喷涂焊尘废气 太阳能电池片生产线硅片制绒清洗酸雾 太阳能电池片生产线磷扩散制结反应废气 太阳能电池片生产线湿1 1 1 1 1 数量 1 1 监测因子 颗粒物、排气量等参数 氯化氢、排气量等参数 氟化物、氮氧化物、氯化氢、排气量等参数 颗粒物、排气量等参数 氟化物、氯化氢、异丙醇、排气量等参数 颗粒物、氯气、排气量等参数 氮氧化物、氟化物、硫酸第21页 共24页
频 次 要 求 连续监测3次以上，2天。 气态氟化物 间歇排放，在生产时监测，8h/d 气态氟化物 气态氟化物
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法刻蚀酸雾 太阳能电池片生产线硼扩散反应废气 太阳能电池片生产线等离子刻蚀反应废气及氢氟酸化学清洗酸雾 太阳能电池片生产线PECVD沉积氮化硅膜反应废气焚烧尾气 太阳能电池片生产线丝网印刷烘干及烧结废气 沼气回用系统燃烧尾气 1 1 1 1 1 雾、排气量等参数 颗粒物、溴、排气量等参数 氟化物、排气量等参数 气态氟化物 颗粒物、氨、排气量等参数 非甲烷总烃、排气量等参数 氮氧化物、排气量等参数 颗粒物、氯化氢、氯气、 上风向设1个参3次/天，照点、下风向及2天 敏感点处布3个监控点 厂界无组织排放 氟化物、氮氧化物、硫酸雾、非甲烷总烃、异丙醇 含氟废水及酸碱废水处理系统 废水 有机生产废水及生活污水处理系统 总排口 1 1 1 pH、CODcr、BOD5、氟化物、4次/天，SS、氨氮、氯化物 2天 pH、CODcr、氨氮、BOD5、SS 4次/天，2天 进、出口 进、出口 出口 pH、CODcr、BOD5、氟化物、4次/天，SS、氨氮、氯化物 2天 昼、夜各1次，连续监测2天 噪声 厂界 等效声级 厂四周各布1监测点 4.3监测质量保证和质量控制
（1）严格按照《环境监测技术规范》和有关环境监测质量保证的要求进行样品采集、保存、分析等，全程进行质量控制。
（2）参加本项目废气监测人员均持证上岗，监测仪器均经计量部门检定合格并在有效期内。
（3）水样：样品采集、运输、保存严格按照国家标准和《环境水质监测质量保证手册》的技术要求进行；全部样品采平行双样10%，所有项目均采用不少于10%平行样分析控制样品精密度。
（4）废气采样前对仪器流量计进行校准，并检查气密性；采样和分析过程严格按照GB/T16157-1996和《空气和废气监测分析方法》（第四版）进行。
（5）声级计测量前后均经标准声源校准且合格，测试时无雨，风速小于5.0m/s。
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（6）监测数据严格执行三级审核制度。
（7）检查监测期间生产工况，确保监测期间生产工况在75%以上并记录监测期间生产工况有关参数。
4.4 环保管理检查的内容
（1）环评报告书、批复落实情况及有关环保设施、措施落实情况；
（2）环境管理组织机构的建设、人员配备情况及环境管理规章制度执行情况； （3）生产设备及设施实际安装情况核查；
（4）企业生产运行情况，环保设施运转情况及常规排污监测情况； （5）污水处理站运行及在线安装情况； （6）固废综合利用及处理处置情况；
（7）风险防范设施及措施落实情况，主体工程建设监理报告（风险防范措施）； （8）厂区绿化情况；
（9）建设及试生产期间的扰民及污染情况； （10）监测期间，核查生产工况是否满足监测要求； （11）公众参与调查。
五、测试费用
5.1 收费依据
（1）《XX省关于环境监测站开展专业服务收费实施细则》XX环监字[XXX]XX号； （2）《关于省直单位预算外资金重点建设项目资本金的实施办法》XX财收管字[XXX]第XX号；
（3）《XX省大型科研仪器管理办法实施细则》XX科财字[XXX]XX号。；
5.2经费概算
（1）①废气
生产废气取样费：
（12000+7500+30000+1000+45000+30000+40000+40000+60000+500+30000）÷2500吨×50元/吨×6次=35520元
有机、无机废气采样费：200元/样×16样×6次＝19200元
无组织排放采样：100元/点×6个样/点×4次/天×4点×2天＝19200元 废气分析费：100元/样×（90+192）样＝28200元 ②废水采样、分析费：
污水处理站：（10+30+50+100+100+100+100+100）×4次×2天×5点=23600元
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③噪声监测费
5元/A声级×100 A声级×4点×2天×2次=8000元 ④数据整理、方案、报告编写费用：20000元 ⑤交通、人员、设备损耗费：20000元 小计：173720元
（2）税费(10%)：17370元 总计：191090元
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