专利名称：蒸镀装置专利类型：发明专利
发明人：孙俊民,崔伟,张鑫狄,付文悦,冯长海申请号：CN201510527412.5申请日：20150825公开号：CN105088146A公开日：20151125
摘要：本发明公开了一种蒸镀装置，包括：蒸镀室；设置于所述蒸镀室内的载架，所述载架用于承载被蒸镀的基板；固定于所述载架下方的纵向轨道；与所述纵向轨道连接的第一横向轨道且所述第一横向轨道可沿所述纵向轨道上下移动靠近或远离载架；设置于所述蒸镀室内的多个加热源板，每个所述加热源板可移动至所述第一横向轨道之上与之连接且随所述第一横向轨道上下移动。本发明的蒸镀装置，与现有技术相比，解决了多个加热源板和载架之间的距离是固定的导致蒸镀效果不可控的技术问题。
申请人：京东方科技集团股份有限公司
地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
国籍：CN
代理机构：北京同达信恒知识产权代理有限公司
代理人：宋珊珊
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