专利名称：一种链式扩散设备专利类型：实用新型专利
发明人：袁华斌,符亮,张凯胜,姚伟忠,孙铁囤申请号：CN201820741641.6申请日：20180518公开号：CN208460777U公开日：20190201
摘要：本实用新型提供的一种链式扩散设备，包括依次连接的上料装置、喷涂装置、烘干装置和下料装置，所述的烘干装置与下料装置之间还连接有激光装置；还包括网带传输装置，硅片放置于网带传输装置上并由网带传输装置带动从喷涂装置处经过烘干装置内腔并传送至激光装置处。本实用新型在太阳能电池片生产的扩散工序中，使p‑n结表面磷表面浓度降低，结深得到增加，减小表面少子复合和结区漏电情况，并对对硅片基体内杂质进行吸杂，降低体内复合几率。
申请人：常州亿晶光电科技有限公司
地址：213000 江苏省常州市金坛市尧塘镇金武路18号
国籍：CN
代理机构：常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)
代理人：王美华
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