专利名称:高纯球形无定型硅微粉的制备专利类型:发明专利发明人:袁良杰,何治柯申请号:CN97109007.6申请日:19970114公开号:CN1188075A公开日:19980722
摘要:本发明公开了一种新的制备高纯球形无定型硅微粉的方法。该方法以水玻璃和无机酸为主要原料,通过控制溶剂、乳化剂与水玻璃的比例,乳化时的转速及添加剂用量等条件参数,制备放射性元素铀含量小于1ppb,常见离子含量均小于1ppm的球形硅微粉,平均粒径可在5~40μm之间调控,该产品可用作环氧树脂的填料,以制备大规模或超大规模集成电路器件的封装材料,还可用作制备其它高档电子器件的填料。
申请人:武汉大学
地址:430072 湖北省武汉市珞珈山
国籍:CN
代理机构:武汉大学专利事务所
代理人:康俊明
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