专利名称：洗涤剂专利类型：发明专利
发明人：须贺重政,加门茂,矢田隆司,寺井章博申请号：CN200480030400.1申请日：20041124公开号：CN1867659A公开日：20061122
摘要：本发明提供使用1种液体、不腐蚀配线或门等的在常温并且短时间内可除去晶片表面的颗粒、金属杂质的洗涤剂。为解决上述课题，本发明制得是含有磷酸、氢氟酸、氨和/或胺，pH为2－12范围的水溶液，其含有磷酸0.5－25质量％，氨和/或胺0.1－10质量％，氢氟酸5×10－5.0质量％的洗涤剂。
申请人：岸本产业株式会社,精密聚合株式会社
地址：日本大阪
国籍：JP
代理机构：中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
代理人：王健
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