专利名称：气体纯化装置专利类型：发明专利
发明人：刘大猛,张晨辉,王婷,雒建斌申请号：CN201710865306.7申请日：20170922公开号：CN107497243A公开日：20171222
摘要：本发明提供了一种气体纯化装置，其包括：真空罩筒，其具有真空容纳腔，所述真空罩筒上安装有制冷机，所述制冷机具有伸入所述真空容纳腔内的冷头，所述制冷机通过制冷循环管路连接有制冷压缩机；纯化器，其位于所述真空容纳腔中，所述纯化器具有依次相连的第一换热器和第二换热器，所述第二换热器靠近所述冷头设置；再生器，其通过再生循环管路与所述制冷压缩机相连，所述再生器位于所述真空容纳腔中，所述再生器具有依次相连的回热换热器、加热器和换热管，所述换热管位于所述第一换热器内。本发明的气体纯化装置，不仅能进行纯化作业，同时具有快速再生功能。
申请人：清华大学
地址：100084 北京市海淀区清华园
国籍：CN
代理机构：北京三友知识产权代理有限公司
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