专利名称：一种非接触测试半绝缘半导体电阻率的装置专利类型：实用新型专利发明人：王昕,田蕾,李俊生申请号：CN201720493350.5申请日：20170505公开号：CN206773072U公开日：20171219
摘要：本实用新型公开了一种非接触测试半绝缘半导体电阻率的装置，包括数字示波器、脉冲发生器、容性探头和样品台，容性探头设置在样品台的上方，所述样品台上堆叠有金属电极层和绝缘体层，待测样品放置在金属电极层上，金属电极层与脉冲发生器相连，脉冲发生器频率、幅度可调；所述容性探头包括相连的电容活动极和电荷放大器，电容活动极一端为探测面，设置在待测样品的正上方，电荷放大器与数字示波器相连；数字示波器用于显示测量信号波形对应的充电时间和电压幅值。本实用新型通过在充放电过程中的测量，可以通过非接触方式测量，通过数字示波器读取相应的信号参数，进而得到半绝缘半导体的电阻率值，具有测量准确，结构简单，成本低廉的优点。
申请人：广州市昆德科技有限公司
地址：510650 广东省广州市天河区白沙水路123号东门三楼
国籍：CN
代理机构：广州市华学知识产权代理有限公司
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