专利名称：氦泄漏检测用夹具、氦泄漏检测设备及方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,潘杰,王学泽,陈文庆申请号：CN201810611105.9申请日：20180613公开号：CN108801563A公开日：20181113
摘要：本发明提供了一种氦泄漏检测用夹具、氦泄漏检测设备及方法，涉及半导体靶材检测技术领域，包括夹具本体、第一连接件和第二连接件；夹具本体内部具有可容气体通过的通道，两端分别为第一接头和第二接头；第一接头与抽真空管的接口匹配，用于与抽真空管连接；第二接头与靶材上的进出水孔匹配，用于与靶材连接；第一连接件一端与抽真空管连接，另一端与第一接头连接，用于连接抽真空管和夹具本体；第二连接件一端与第二接头连接，另一端与靶材连接，用于连接夹具本体和靶材。本发明能够解决氦质谱检漏仪和靶材接口不同的问题，通过夹具作为中间过渡，实现氦质谱检漏仪和靶材的连接。
申请人：宁波江丰电子材料股份有限公司
地址：315000 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
国籍：CN
代理机构：北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：王献茹
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