（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201520383646.2 （22）申请日 2015.06.04
（71）申请人 聚昌科技股份有限公司
地址 中国台湾新竹县湖口乡胜利村光复南路16号
（10）申请公布号 CN204668286U
（43）申请公布日 2015.09.23
（72）发明人 苏奕全;陈宜杰
（74）专利代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司
代理人 寿宁
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
半导体真空制程设备的进出料结构
（57）摘要
本实用新型为一种半导体真空制程设备的
进出料结构，其是与半导体真空制程设备气密相连通，提供自半导体真空制程设备快速进出晶圆托盘。进出料结构包括：托盘匣；以及传送模块，并由传送模块的机械臂夹取或置放晶圆托盘。借由本实用新型进出料结构的实施，可以使半导体真空制程设备破真空的时间缩短，提升半导体真空制程设备的制程利用率，而且进出料结构与现有半导体真空制程设备完全兼容，可大幅
节省建置成本，提升产业竞争力。
法律状态
法律状态公告日
2015-09-23
授权
法律状态信息
授权
法律状态
权利要求说明书
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说明书
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