专利名称：一种实现高精度测量竖直移动方向的装置及方法专利类型：发明专利
发明人：张钟华,曾涛,李正坤,韩冰,鲁云峰,李世松申请号：CN201310470249.4申请日：20131010公开号：CN103486956A公开日：20140101
摘要：本发明提供了一种实现高精度测量竖直移动方向的装置及方法，属于测量领域。本发明装置包括电容传感器和精密变压器电桥；所述电容传感器的高电位电极和指零电极分别与所述精密变压器电桥连接；所述指零电极与竖直移动装置固定连接；所述指零电极与高电位电极之间电容量的变化能够指示出竖直移动装置的移动方向是否为铅垂方向。利用本发明测量移动方向与铅垂方向偏离的精度可达高达0.1μm。比起光学方法来，装置简单，操作方便。
申请人：中国计量科学研究院
地址：100013 北京市朝阳区北三环东路18号
国籍：CN
代理机构：北京思创毕升专利事务所
代理人：郭韫
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