专利名称：一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法专利类型：发明专利发明人：陈钦忠,张科,陈宝忠申请号：CN201410057277.8申请日：20140220公开号：CN103846438A公开日：20140611
摘要：一种制造高铝钛金属陶瓷复合靶材的方法，包括：按比例将氮化钛粉和金属铝粉混合制粉；将混合均匀的复合粉末过筛，然后加入到配套模具中，并平铺均匀；将模具置于热压烧结炉中，采用惰性气体，温度为650-1000摄氏度，压力40-50Mpa范围进行烧结；保温保压2-3小时停止加热，冷却至80摄氏度出炉；对烧结好后的复合靶材按照图纸进行加工处理，即可得到成品。本发明的方法改善制粉、成型和烧结工艺及氮化钛、金属铝的复合化，从而研制出性能更加优良的氮化钛铝复合靶材。
申请人：福州阿石创光电子材料有限公司
地址：350000 福建省福州市长乐市航城街道琴江村太平里168号
国籍：CN
代理机构：福州市鼓楼区京华专利事务所(普通合伙)
代理人：宋连梅
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