专利名称：一种气体传感器芯片的制造方法专利类型：发明专利发明人：禹胜林
申请号：CN201410644825.7申请日：20141114公开号：CN104597087A公开日：20150506
摘要：本发明公开了一种气体传感器芯片的制造方法，包括以下步骤：在第一层压电基片上开设参比气体通道；在第二层压电基片上涂覆气体敏感膜；在第三层和第四层压电基片之间设置一对柔性电极对和传感层，并将传感层设于所述的柔性电极对之间；将参比电极设置在第一层压电基片和第二层压电基片之间，将加热电极设置在第二层压电基片和第三层压电基片之间；将柔性电极对和参比电极相连接；将第一层压电基片至第四层压电基片顺次叠压在一起。本发明具有灵敏度高，响应快，选择性好，结构简单，寿命长等特点；以传感层的电阻变化作为鉴定的依据，提高了传感器的敏感性能；该制作过程提高芯片寿命、提高成品率、制作工艺简单。
申请人：无锡信大气象传感网科技有限公司
地址：214135 江苏省无锡市无锡国家高新技术产业开发区菱湖大道97号创新研发楼二期南楼101室
国籍：CN
代理机构：南京经纬专利商标代理有限公司
代理人：张惠忠
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