一种新型平板式PECVD设备及其气路接孔结构

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210537145.6 （22）申请日 2012.12.12

（71）申请人 英利能源(中国)有限公司

地址 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号

（10）申请公布号 CN102978587A

（43）申请公布日 2013.03.20

（72）发明人 范志东;田世雄;马继奎;汤欢

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 魏晓波

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种新型平板式PECVD设备及其气路接孔结构

（57）摘要

本发明公开了一种新型平板式PECVD气路

接孔结构，特气气孔的输出端连通有新型特气孔接头，新型特气孔接头具有顶端封闭的管体，在管体的侧壁上开设有多个侧孔，每个侧孔的输出端均连通有侧管，每个侧管的输出方向与特气气孔的输出方向相同。本发明提供的新型平板式PECVD气路接孔结构，通过在特气气孔的输出端连通具有多个侧孔的新型特气孔接头，避免出现某一位置特气孔堵塞的现象从而保证设备运行的

长时间的稳定性，从而延长设备维护周期，增加设备的产量，另外减少因为特气孔的堵塞对沉积的氮化硅膜层厚度的不同导致片间色差等不合格片的产生，提高产品的合格率。本发明还公开了一种应用了上述气路接孔结构的新型平板式PECVD设备。

法律状态

法律状态公告日2013-03-20 2013-04-17 2014-07-23

法律状态信息

公开

实质审查的生效 授权

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公开

实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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