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多晶硅还原炉尾气处理装置

2020-10-14 来源:乌哈旅游
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)实用新型专利

(21)申请号 CN201920938198.6 (22)申请日 2019.06.20

(71)申请人 山东大海新能源发展有限公司

地址 257300 山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北,西康路以西

(10)申请公布号 CN210125300U

(43)申请公布日 2020.03.06

(72)发明人 曾磊;杨涛;郜峰;许红方;张乃文 (74)专利代理机构 北京中北知识产权代理有限公司

代理人 段秋玲

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

多晶硅还原炉尾气处理装置

(57)摘要

本实用新型公开了多晶硅还原炉尾气处理

装置,涉及多晶硅加工技术领域。本实用新型包括:加热还原炉尾气进行催化反应的高温催化箱(1)和静电吸附回收二氧化硅的吸附箱(2);高温催化箱(1)包括加热还原炉尾气的加热棒(104),分散还原炉尾气的气流分散板(106)和用于催化反应的催化床(107);吸附箱(2)包括产生振动作用的电磁振动器(203),电晕极(201)的电势高于集电极(202)的电势。本实用新型有益技术效果:气

流分散板的作用是将气流进行均匀分散,保证尾气与催化床上的催化剂充分接触并反应;对多晶硅还原炉尾气先进行高温催化生成二氧化硅,再利用静电吸附回收二氧化硅,妥善处理多晶硅还原炉尾气。

法律状态

法律状态公告日

2020-03-06

法律状态信息

授权

法律状态

授权

权利要求说明书

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说明书

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