专利名称：一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法专利类型：发明专利
发明人：淡新国,侯军涛,李明强,郭让民,郭磊,邓自南申请号：CN201110334975.4申请日：20111029公开号：CN102337418A公开日：20120201
摘要：本发明公开了一种溅射靶材用钼铌合金板的制备方法，该方法为：一、将铌粉和费氏平均粒度为3μm～8μm的钼粉按照1∶9的质量比置于混料机中混合得到混合料；二、对混合料进行振动压制，得到钼铌合金粉末压坯；三、将钼铌合金粉末压坯置于真空烧结炉内烧结，制得钼铌合金板坯；四、对钼铌合金板坯进行机械切割，得到所需尺寸的溅射靶材用钼铌合金板。本发明的方法工艺流程简单，易于实现工业化生产，成品率高，制备过程不会产生任何废料、废酸等污染物。采用本发明的方法制备的钼铌合金板的密度不低于9.85g/cm，满足溅射靶材的要求。
申请人：西安瑞福莱钨钼有限公司
地址：710201 陕西省西安市经济技术开发区泾渭工业园西金路西段19号
国籍：CN
代理机构：西安创知专利事务所
代理人：谭文琰
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