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使用了分光器的相位差测量装置

时间:2023-06-01 来源:乌哈旅游
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN200810091804.1 (22)申请日 2008.04.03 (71)申请人 富士胶片株式会社

地址 日本东京都

(10)申请公布号 CN101281091A

(43)申请公布日 2008.10.08

(72)发明人 网盛一郎;小畑史生;高桥弘毅 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

代理人 徐冰冰

(51)Int.CI

G01M11/02; G02F1/13; G01N21/17;

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

使用了分光器的相位差测量装置

(57)摘要

本发明提供一种能够简便并且精度良好地

测量小的相位差的相位差测量装置。该相位差测量装置包括依次配置有光源、偏振器、试样台、检偏器和分光器的光学系统以及计算单元,在偏振器与检偏器之间配置有波长板,并且在测量波长区域内的2个以上的波长的每一个中,用0.5

以上的整数或半整数去除该波长板的延迟值的值与该波长一致。

法律状态

法律状态公告日

法律状态信息

2008-10-08 公开

2010-12-29

发明专利申请公布后的视为撤回

法律状态

公开

发明专利申请公布后的视为撤回

权利要求说明书

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说明书

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