(12)发明专利申请
(21)申请号 CN200810091804.1 (22)申请日 2008.04.03 (71)申请人 富士胶片株式会社
地址 日本东京都
(10)申请公布号 CN101281091A
(43)申请公布日 2008.10.08
(72)发明人 网盛一郎;小畑史生;高桥弘毅 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
代理人 徐冰冰
(51)Int.CI
G01M11/02; G02F1/13; G01N21/17;
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
使用了分光器的相位差测量装置
(57)摘要
本发明提供一种能够简便并且精度良好地
测量小的相位差的相位差测量装置。该相位差测量装置包括依次配置有光源、偏振器、试样台、检偏器和分光器的光学系统以及计算单元,在偏振器与检偏器之间配置有波长板,并且在测量波长区域内的2个以上的波长的每一个中,用0.5
以上的整数或半整数去除该波长板的延迟值的值与该波长一致。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2008-10-08 公开
2010-12-29
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
使用了分光器的相位差测量装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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