专利名称：镀膜装置专利类型：发明专利发明人：裴绍凯
申请号：CN201010296608.5申请日：20100929公开号：CN102433553A公开日：20120502
摘要：本发明提供一种镀膜装置，包括一个形成装置、一个中间装置、一个制程装置、一个第一开关装置、一个第二开关装置及一个控制装置。该形成装置具有一个反应腔。该中间装置连接至该形成装置且具有一个连通该反应腔的等待腔。该制程装置连接至该中间装置且具有一个连接至该等待腔的制程腔。该第一开关装置用于控制该反应腔与该等待腔连通与隔绝。该第二开关装置用于控制该等待腔与该制程腔连通与隔绝。该控制装置用于控制第一及第二开关装置的作动。如此，前驱物可在反应腔中充分反应，反应后的前驱物进入等待腔后可在其中可被调配成适当浓度，最后才进入制程腔在基板上积淀成所需膜层。整个镀膜过程均可被准确地控制，使得所镀膜层的厚度均匀。
申请人：鸿富锦精密工业(深圳)有限公司,鸿海精密工业股份有限公司
地址：518109 广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号
国籍：CN
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