专利名称：气体浓度控制装置专利类型：实用新型专利
发明人：崔娟娟,程朝阳,刘俊豪,马超申请号：CN201220320628.6申请日：20120703公开号：CN202705565U公开日：20130130
摘要：本实用新型提供了一种气体浓度控制装置，所述装置包括：进口气路单元，用于控制、过滤、调节以及显示进口气体压力，并将处理后的气体送入源瓶；源瓶，用于存放源气体；出口气路单元，用于控制以及显示出口气体压力，并将源瓶出口的混合气体送入气体浓度检测单元；气体浓度检测单元，用于检测气体的携带源浓度，并将混合气体通过流量控制单元；流量控制单元，用于控制混合气体流量，并将混合气体通入工艺腔室。本实用新型的气体浓度控制装置扩展性强，控制精度高，可靠性、可重复性和稳定性好。
申请人：北京七星华创电子股份有限公司
地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2楼2层
国籍：CN
代理机构：北京路浩知识产权代理有限公司
代理人：王莹
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