专利名称：一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系
统
专利类型：发明专利
发明人：江绍基,张豪杰,潘洪昌,钟金池申请号：CN200810026853.7申请日：20080318公开号：CN101251609A公开日：20080827
摘要：本发明涉及一种含色度监控功能的宽光谱光学镀膜在线监控系统，包括光源、用于光学镀膜的真空室、设于真空室内的监控片、多色仪、电耦合器件、A/D转换电路及计算机，光源发出的光进入真空室照射到监控片上，光透过真空室并入射到多色仪，经多色仪的光栅衍射后形成的宽光谱入射到电耦合器件上，电耦合器件采集宽光谱的各谱线对应的光强并经电耦合器件的驱动放大，再通过A/D转换电路后输入计算机，并由计算机的监控软件系统进行处理。本发明监控精度高且操作方便。
申请人：中山大学
地址：510275 广东省广州市新港西路135号
国籍：CN
代理机构：广州粤高专利代理有限公司
代理人：禹小明
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