专利名称：一种真空镀膜均气管专利类型：实用新型专利发明人：蔡思贤,邹驰明申请号：CN202020846320.X申请日：20200520公开号：CN212560421U公开日：20210219
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜均气管，包括均气管，所述均气管包括自内而外依次套设的多层气管，所述气管的侧壁上设有气孔，相邻两层所述气管中，内层所述气管的气孔数量小于外层所述气管的气孔数量，相邻两层所述气管之间形成环形腔体，所述环形腔体被分隔为位于其轴向不同位置的多个等容管室，所述管室与其内侧所述气管的气孔一一对应连通,所述管室与其外侧所述气管的气孔一对多的连通。本实用新型公开的真空镀膜均气管，通气管体积小、均匀度理想、结构简单、加工简单，适用环境广泛。
申请人：胜倍尔超强镀膜(苏州)有限公司
地址：215000 江苏省苏州市工业园区娄阳路6号
国籍：CN
代理机构：苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人：姚惠菱
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