专利名称：电镜样品前处理设备专利类型：实用新型专利发明人：张小波,常正凯,张增雄申请号：CN202020390097.2申请日：20200324公开号：CN211785234U公开日：20201027
摘要：本实用新型涉及一种电镜样品前处理设备，包括处理箱、射频离子源、气路系统及真空泵组；处理箱内设有样品腔室；射频离子源连接处理箱并与样品腔室连通；气路系统连接射频离子源，气路系统为射频离子源提供所需的气源；真空泵组连接处理箱并与样品腔室连通，真空泵组用于对样品腔室及射频离子源抽真空。可以在同一个样品腔室同时清洗扫描电子显微镜样品和透射电子显微镜样品，也可以分别独立清洗扫描电子显微镜样品或透射电子显微镜样品，通用性强，有效降低成本；通过射频离子源处理待透射电镜观察并需要亲水性制备的透射电镜样品，实现对透射电镜样品亲水活化无损处理；实现对电镜样品进行真空储存，有效保证电镜样品的质量。
申请人：深圳市速普仪器有限公司
地址：518051 广东省深圳市南山区南山街道桂庙路北向南瑞峰花园1栋209
国籍：CN
代理机构：广州华进联合专利商标代理有限公司
代理人：陈秀丽
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