锆钛酸锶钙陶瓷材料主晶相组份与介电性能

电子工艺技术　２４６　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｐｒｏｃｅｓｓ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　２０１　２年７月第３３卷第４期　锆钛酸锶钙陶瓷材料主晶相组份与介电性能　莫方策，付振晓，张火光　（广东风华高新科技股份有限公司，广东肇庆５２６０２０）　摘要：采用同相法制备ＴＣａ．Ｓｒ（　）［Ｔｉ（　ｚ　］　０　（ＣＳＴＺ锆钛酸锶钙）陶瓷，研究ＣＳＴＺ系统陶瓷材料　的组成与介电性能的关系。结果表明：当　为０．４５，　为０．８８，ｚ为１．０５Ｈｇ，主晶相ｃ　ｓｒ（　）［Ｔｉ（１　ｚｒ　］ｚＯ３形成　完全互溶钙钛矿型固溶体。可获得具有理想介电性能、不含Ｐｈ和ｃｄ等有害杂质的抗还原高频ＭＬＣＣ瓷料。　关键词：ＭＬＣＣ；镍电极；陶瓷材料；抗还原　中图分类号：ＴＭ５３４＋．１文献标识码：Ａ文章编号：１００１—３４７４（２０１２）０４—０２４６—０３　Ｃａ　Ｓｒ　Ｉ１　）（ＴｉＩ１．Ｊ，）Ｚｒ，，）　０３　ＮＰＯ　Ｃｅｒａｍｉｃｓ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｍａｉｎ　Ｃｒｙｓｔａｌ　Ｃｏｍｐｏｎｅｎｔ　Ａｎｄ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃｉｔｙ　Ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ＭＯ　Ｆａｎｇ・ｃｅ．ＦＵ　Ｚｈｅｎ－ｘｉａｏ，ＺＨＡＮＧ　Ｈｕｏ－ｇｕａｎｇ　（ｆｅｎｇｈｕａ　ａｄｖａｎｃｅｄ　ｔｅｃｈｎ０ＩｏｇｙＩｈ０Ｉｄｉｎｇ）ｃｏ．Ｌｔｄ．Ｚｈａｏｑｉｎｇ　５２６０２０，Ｃｈｉｎａ）　Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｃａ　Ｓｒ（１［Ｔｉ（Ｉ－ｙ）Ｚｒ　］ｚＯ３（ＣＳＴＺ）ｃｅｒａｍｉｃｓ　ｗｅｒｅ　ｐｒｅｐａｒｅｄ　ｂｙ　ｔｈｅ　ｓｏｌｉｄ　ｓｔａｔｅ　ｍｅｔｈｏｄ．Ｔｈｅ　ｒｅｌａｔｉｏｎｓｈｉｐ　ｂｅｔｗｅｅｎ　ｘ）ｄｉｅｌｅｃｔｒｉｃ　ｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ　ａｎｄ　ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎ　ｏｆ　ＣＳＴＺ　ｃｅｒａｍｉｃ　ｐｏｗｄｅｒ　ｗｅｒｅ　ｉｎｖｅｓｔｉｇａｔｅｄ．Ｔｈｅ　ｒｅｓｕｌｔｓ　ｓｈｏｗ　ｔｈａｔ　ｕｎｄｅｒ　ｔｈｅ　ｃｏｎｄｉｔｉｏｎｓ　Ｘ　ｉｓ　０．４５，Ｙ　ｉｓ　０＿８８，Ｚ　ｉｓ　１．０５，Ｃａ　Ｓ　【Ｔｉｃ１．　ｚｒ　］ｚＯ３　ｓｙｓｔｅｍ　ｆｏｒｍｓ　ｔｈｅ　ｃｏｍｐｌｅｔｅｌｙ　ａｎｄ　ｍｕｔｕａｌｌｙ　ｓｏｌｕｂｌｅ　ｐｅｒｏｖｓｋｉｔｅ－ｔｙｐｅ　ｍａｔｅｒｉａｌｓ　ａｓ　ｍａｉｎ　ｃｒｙｓｔａｌ　ｐｈａｓｅ．Ｇｏｏｄ　ｑｕａｌｉｔｙ　ａｎｔｉ－ｒｅｄｕｃｉｎｇ　ＮＰＯ－ＭＬＣＣ　ｃｅｒａｍｉｃ　ｐｏｗｄｅｒ　ｎｏ　ｕｓｉｎｇ　Ｐｂ　ａｎｄ　Ｇｅ　ａｄｄｉｔｉｖｅｓ　ｃａｎ　ｂｅ　ｇｏｔｔｅｎ．　Ｋｅｙ　ｗｏｒｄｓ：ＭＬＣＣ；Ｎｉｃｋｅｌ　ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ；Ｃｅｒａｍｉｃ　ｐｏｗｄｅｒ；Ａｎｔｉ－ｒｅｄｕｃｔｉｏｎ　Ｄｏｃｕｍｅｎｔ　Ｃｏｄｅ：Ａ　Ａｒｔｉｃｌｅ　ｌＤ：１Ｏ０１．３４７４（２０１　２）０４．０２４６．０３　传统的ＭＬＣＣ（片式多层陶瓷电容器）电极材料　为Ｐｄ／Ａｇ（钯／银）合金或纯Ｐｄ电极，但是目前为　了满足电子整机小型化的要求，多层陶瓷电容器　（ＭＬＣＣ）不断向小型化、大容量化、高可靠性和低　为１　５％１材料是各国竞争最激烈的规格，也是市场需　求和电子整机用量最大的品种之一，其制造原理是　基于纳米级的钛酸钡陶瓷料（ＢａＴｉＯ　）改性。在这一方　向上，电子科技大学张树人研究小组做了很多的工　成本化方向发展。因此导致采用贱金属材料来替代　Ｐｄ／Ａｇ电极成为了ＭＬＣＣ发展的重要趋势Ⅲ。　在使用Ｎｉ（镍）做电极时，由于Ｎｉ金属与陶瓷　在空气中高温烧结时Ｎｉ将被氧化进而扩散到陶瓷介质　作，制得了　（介电常数）为１５　０００，电阻率达到　ｌ０　ｎ・ｃｍ的抗还原瓷料　Ｊ。　然而，随着通讯产业的快速发展对元器件的频率　要求越来越高，对高频抗还原瓷料的研究与开发是不　可缺少的。高频ＮＰＯ类的贱金属化一直落后于Ｙ５Ｖ、　中，所以以Ｎｉ作为内电极的ＭＬＣＣ烧结过程中必须　采用还原性气氛，而常规ＢａＴｉＯ　（钛酸钡）陶瓷在还　Ｘ７Ｒ材料。在国外，一些规模较大的ＭＬＣＣ￥１］造商多　为自主研发配方体系，然后委托粉料厂家或与材料厂　家签订技术协议合作开发。本文将介绍一种Ｃａｆｉｒ　。　）　［　、ｚｒ　］　Ｏ　体系的瓷料，加人一定的助熔剂及抗　还原剂，即可获得一种高频抗还原ＮＰＯ（在温度一５５　原性气氛中烧结时易产生高温失氧而变成半导体，丧　失绝缘性能，因此研制适应还原性气氛烧结的抗还原　陶瓷介质材料是Ｎｉ内电极ＭＬＣＣ开发的关键口　。　其中Ｘ７Ｒ（当温度在一５５　ｏＣ～１２５　ｏＣ时其容量变化　基金项目：广东省中国科学院全面战略合作项目【项目编号：２００９Ａ０９１１０００１８）。　作者简介：莫方策（１９７６一），男，研究方向：电子材料与元器件。