（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201910706108.5 （22）申请日 2019.08.01 （71）申请人 株式会社三丰
地址 日本神奈川县
（10）申请公布号 CN110823091A
（43）申请公布日 2020.02.21
（72）发明人 久保光司
（74）专利代理机构 北京市柳沈律师事务所
代理人 邸万奎
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
非接触式位移传感器
（57）摘要
一种非接触式位移传感器，包括：聚焦定
时计算器，其计算测量光聚焦在可测量物体表面上的测量侧聚焦定时、参考光聚焦在第一参考表面上的第一参考侧聚焦定时以及参考光聚焦在第二参考表面上的第二参考侧聚焦定时；特性计算器，其基于第一参考侧聚焦定时、第二参考侧聚焦定时和光路长度差来计算液体透镜装置的折射率特性；以及位置计算器，其基于折射率特性和测量侧聚焦定时相对于驱动信号周期的相位来计
算可测量物体的位置。
法律状态
法律状态公告日
2020-02-21
公开
法律状态信息
公开
法律状态
权利要求说明书
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说明书
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