专利名称：单晶炉硅溶液液面位置检测方法、装置及调整系统专利类型：发明专利
发明人：时刚,武海军,张灵鸽,赵辉申请号：CN201610322084.X申请日：20160516公开号：CN105821469A公开日：20160803
摘要：本发明提供一种单晶炉硅溶液液面位置检测方法、装置及对应的调整系统，其中该方法包括：向信号输入端输入电压信号，其中信号输入端的下端面始终位于硅溶液液面的下方；通过检测第一测量端和第二测量端的电压信号，获取第一测量端和第二测量端的电压信号检测状态；根据电压信号检测状态，生成用于指示硅溶液液面是否处于合理位置的检测结果。本发明利用硅溶液的导电性，在向信号输入端输入电压信号后，通过获取第一测量端和第二测量端的电压信号检测状态，自动并精确检测硅溶液液面位置，从而精确判断硅溶液液面是否处于合理位置，并进一步对坩埚位置进行相应调整，使硅溶液液面始终保持在合理位置。
申请人：西安创联新能源设备有限公司
地址：710065 陕西省西安市电子城电子西街3号
国籍：CN
代理机构：广州三环专利代理有限公司
代理人：郭永丽
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