順序1234567891011121314151617181920212223242526272829303132333435363738394041424344
英文單字
ALARM
ALIGNMENTANNEAL
AREA SENSORAUTOBAKERBLOCKBUFFERBUZZERCHAMBERCHIPCOATCOMBINECONTACTDEVELOPDRYDUMMYEDGE
ELLIPSOMETERETCH
EXPERIMENTFLUSHINITIAL
INSPECTIONLASERLEVELLIFTERLINELOT NO.MAINMASKMENUMERGEMETAL
OPERATIONPANEL
PANEL COMPARTICLEPATTERNPHOTO
PHOTORESISTPIXELPLATEPOINT
中文解釋備順序英文單字警報45PORT對位46POWER OFF熱處理47PROBER區域感應器48RECIPE自動49REPAIR烤箱50REPEAT區域51RESET緩衝區52REWORK蜂鳴器53RINSE反應室54ROBOT片55RUN覆蓋56SCAN合併57SCRAP接觸58SCRUBBER顯影59SORTER乾60SPIN控片61SPLIT邊緣62STAGE橢圓儀63STEPPER蝕刻64STRIP實驗65SUBSTRATE沖洗66T.F.啟始67TEST檢查68TITLE雷射69TRANSFER水平校正／級70TROUBLE升降梯71TYPE線72UNPACKERlot 號碼73UTILITY主要的74WET光罩目錄合併金屬操作面板
觸摸式電腦灰塵／微粒子圖形黃光光阻劑畫素盤、板點
中文解釋出入埠電源關閉探針配方修補重覆
重新設定重工潤濕機械手臂運轉掃描報廢清潔排序機旋轉分歧基座對準去光阻基板成膜測試給予號碼傳送有異常種類拆外包機能源裝置濕
FAB常用英文字彙表(NEXUS專用)
順序英文單字中文解釋備順序英文單字1ABORT取消45STANDBY2ADD新增46START3AFTER之後47STATE4ALTER修改48STATUS5BEGIN開始49TRANSPORTION6BOOKING預約50WIP7CANCEL取消518CASSETTE治具529CHANGE更改5310CLOSE關閉5411COMPOSITION組成5512CONTROL控制5613DELETE刪除5714DETAIL詳細5815DISPATCH派工5916EDIT修改6017END結束6118EQUIPMENT(EQ.)設備,機台6219EXECUTION執行6320FORMER之前6421HOLD保留6522INFORMATION資訊6623INSERT插入6724IRREGULAR非正常6825LAYER層6926MAINTENANCE維修7027MANAGEMENT管理71
手動7228MANUAL
29OPERATOR操作員7330POSITION位置7431PRESENT目前7532PRINT列印7633PROCESS製程7734REASON原因7835RECORD記錄7936REFRESH更新8037REGULAR正常的.平常的8138RELEASE解除8239RESERVATION保留8340RESULT結果8441SAVE儲存8542SEARCH搜尋8643PROCESS SHEET流程表8744SHELF棚88
中文解釋
等待.待命開始狀態狀況
搬送,運送半成品
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