金属有机化合物化学气相沉积方法及其装置

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201210090988.6 （22）申请日 2012.03.30

（71）申请人 理想能源设备(上海)有限公司

地址 201203 上海市浦东新区张江居里路1号

（10）申请公布号 CN103361624A

（43）申请公布日 2013.10.23

（72）发明人 马悦;黄占超;何川;王俊;宋涛;林芳;任爱玲;丁兴燮;萨尔瓦多;奚明 （74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 骆苏华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

金属有机化合物化学气相沉积方法及其装置

（57）摘要

一种金属有机化合物化学气相沉积方法及

其装置。所述方法包括：提供基座及至少一基片；提供第一进气装置和第二进气装置，第一气体沿着第一出气口喷出的方向与第二气体沿着第二出气口喷出的方向成一夹角；第一气体与第二气体在基片上表面沉积得到一层金属有机化合物；第一气体在反应区域内浓度梯度分布，包括A区域和B区域，A区域的气体平均浓度高于B区域的气体平均浓度；第二气体在反应区域内的浓

度梯度分布，包括C区域和D区域，C区域的气体平均浓度高于D区域的气体平均浓度；A区域与C区域间隔排列；基片依次通过A区域与C区域。本发明既可以避免反应气体提前反应，也可以提高反应速率，降低生产成本。

法律状态

法律状态公告日

2013-10-23 2013-10-23 2013-10-23 2013-11-20 2013-11-20 2013-11-20 2015-07-01 2015-07-01 2015-07-01 2019-08-09 2019-08-09 2020-08-28

法律状态信息

公开 公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

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权利要求说明书

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说明书

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