一种大功率等离子体微波谐振腔

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201510734968.1 （22）申请日 2015.11.03

（71）申请人 长飞光纤光缆股份有限公司

地址 430073 湖北省武汉市东湖新技术开发区光谷大道9号

（10）申请公布号 CN105244251B

（43）申请公布日 2017.11.17

（72）发明人 胡肖;朱继红;李鹏;龙胜亚;王瑞春 （74）专利代理机构 湖北武汉永嘉专利代理有限公司

代理人 胡建平

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种大功率等离子体微波谐振腔

（57）摘要

本发明涉及一种用于PCVD光纤预制

棒加工机床的大功率等离子体微波谐振腔，包括有谐振腔壳体和与其相联的波导装置，其特征在于设置有两个左右对称且同轴线的谐振腔壳体，在两个同轴线谐振腔壳体的中间一侧沿垂直中线安设一个波导装置，波导装置的前端通过二分功率计与两个谐振腔壳体相联接，通过二分功率计将微波源功率等分成两，分别馈入两个同轴线的谐振腔壳体。本发明不仅能有效提高谐振腔的馈入功率，而且能有效降低微波的泄露；两个同轴

线的谐振腔可在加工衬管中产生纵向移动的两个等离子体，由此可以有效增加沉积速率，提高沉积加工的效率；并可以实现两个同轴线谐振腔沉积玻璃在轴向上的波动相互抵消，增加芯棒的均匀性，改善光纤的加工精度和质量参数；本发明设置合理，结构简单。 法律状态

法律状态公告日2016-01-13 2016-01-13 2016-02-10 2016-02-10 2017-11-17

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

法律状态

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权

权利要求说明书

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说明书

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