专利名称：一种三步夹持晶圆定位机构专利类型：实用新型专利发明人：赵晗,江献茂,张雨申请号：CN201921535869.0申请日：20190916公开号：CN210379006U公开日：20200421
摘要：本实用新型涉及一种三步夹持晶圆定位机构，包括安装地板，安装地板上安装有单边夹持驱动器、升降驱动器，单边夹持驱动器设置有两组，两组单边夹持驱动器分别设置在升降驱动器的左右两侧，单边夹持驱动器的驱动端安装有竖直连接板，竖直连接板顶端连接有多层次夹持块，多层次夹持块随竖直连接板在单边夹持驱动器的带动下做水平左右方向的夹持移动，升降驱动器的驱动端安装有晶圆承载台，晶圆承载台在升降驱动器的带动下做竖直方向的升降运动，晶圆承载台上安装有光电侦测感应器，多层次夹持块配合升降驱动器和晶圆承载台对晶圆进行定位；本实用新型能够用于全自动晶圆单片清洗设备中，实现晶圆自动定位对中，降低了晶圆飞片、脱离甚至破片的风险。
申请人：冠礼控制科技(上海)有限公司
地址：200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区富特西一路333号长城大楼第一层A1-2部位
国籍：CN
代理机构：上海精晟知识产权代理有限公司
代理人：杨军
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