专利名称：良率分析的方法、装置和计算机可读存储介质专利类型：发明专利发明人：不公告发明人申请号：CN202010172049.0申请日：20200312公开号：CN111353082A公开日：20200630
摘要：本公开的实施例涉及良率分析的方法、装置和计算机可读存储介质。该方法包括：提取低良率晶圆数据的至少一个特征，所述至少一个特征与低良率案件档案库中的至少一个特征相对应；基于所述至少一个特征，确定所述低良率晶圆数据与所述低良率案件档案库中的低良率案件的相似度；基于所述相似度，确定所述低良率档案库中与所述低良率晶圆数据匹配的特定低良率案件；以及获取与所述特定低良率案件相关的档案信息，以指导对所述低良率晶圆数据的分析。
申请人：全芯智造技术有限公司
地址：230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼
国籍：CN
代理机构：北京市金杜律师事务所
代理人：李兴斌
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