专利名称：MEMS器件及其制造方法专利类型：发明专利
发明人：闻永祥,陈向东,刘琛,季锋申请号：CN201510703771.1申请日：20151026公开号：CN105197871A公开日：20151230
摘要：本发明提供了一种MEMS器件及其制造方法，该器件包括：基底；布线埋层，位于所述基底上，所述布线埋层图形化为一个或多个布线图形；牺牲层，位于所述基底上，所述牺牲层中具有空腔，所述布线图形的至少一部分位于所述空腔内；运动质量块层，所述运动质量块层的至少一部分由所述牺牲层支撑，所述运动质量块层包括位于所述空腔上方的运动质量块，所述运动质量块朝向所述空腔的表面具有向所述空腔突出的突点。本发明能够减小了运动质量块与布线图形、基底之间的接触面积，可以有效减少或防止粘连。
申请人：杭州士兰微电子股份有限公司,杭州士兰集成电路有限公司
地址：310012 浙江省杭州市黄姑山路4号
国籍：CN
代理机构：上海专利商标事务所有限公司
代理人：张振军
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