专利名称：靶材组件的制作方法专利类型：发明专利
发明人：姚力军,王学泽,欧阳琳,刘庆申请号：CN200910140415.8申请日：20090508公开号：CN101648307A公开日：20100217
摘要：一种靶材组件的制作方法，包括：提供钛靶材坯料、背板和钎料，所述背板四周形成有侧壁；对钛靶材坯料进行预热，将钎料均匀分布在钛靶材坯料的结合面与坯料外周，使得钎料在钛靶材坯料的结合面和外周充分浸润，去除钛靶材坯料结合面和外周上的钎料；对背板的结合面进行打磨处理，对背板进行预热，将钎料均匀分布在背板的结合面和侧壁内侧，超声波处理添加钎料的背板；对钛靶材坯料和背板进行钎焊，将钛靶材坯料焊接至背板形成靶材组件；冷却靶材组件。本发明能够有效避免钛靶材坯料和背板在焊接过程中氧化以及钎料氧化，并且焊接的靶材组件结合强度高，产品加工周期短。
申请人：宁波江丰电子材料有限公司
地址：315400 浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
代理人：李丽
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