专利名称:一种蓝宝石单晶炉保温结构专利类型:实用新型专利
发明人:左洪波,杨鑫宏,张学军,李铁申请号:CN201420545157.8申请日:20140923公开号:CN204298507U公开日:20150429
摘要:本实用新型提供了一种蓝宝石单晶炉保温结构。它包括上部保温结构、下部保温结构、侧面保温结构及侧屏顶部的双层挡板结构,上部保温结构为圆形钼隔热屏及氧化锆纤维砖保温结构,侧面保温结构分内外两层,分别为由氧化锆纤维砖和氧化铝砖制成的圆桶形结构,侧面保温结构顶部搭放两层环形氧化锆纤维砖结构,下部保温结构为圆形氧化锆纤维砖保温层和氧化铝砖结构,且二者中心留有与支柱直径相匹配的圆形通孔。本实用新型具有温场更加稳定、温度控制精确性和自动化程度更高、设备可靠性高、制造成本更低等特点。
申请人:哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司
地址:150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街357号
国籍:CN
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